真空の基礎知識
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真空を作るために必要なもの
真空を作るために必要なものをまとめました。 これを知れば、真空環境をつくるのに必要なものがわかります。
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よく使う圧力の単位と、単位換算
圧力を表現するときに、よく使われる単位の定義がわかります。圧力単位換算表もついています。
真空ポンプの基礎知識
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真空ポンプの種類と特徴
真空ポンプには様々な種類がありますが、大きく分けて2種類の真空ポンプがあります。
真空ポンプの原理
スクリュー型ドライ真空ポンプ 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ スクロール型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 回転翼型ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ メカニカルブースタポンプ クライオポンプ ターボ分子ポンプ スパッタイオンポンプ
チタンゲッターポンプ ソープションポンプ 油拡散真空ポンプ エジェクタ（真空）ポンプ