真空ポンプの種類と特徴

2種類の真空ポンプ

真空ポンプは、次の2種類に大きく分けることができます。

容積移送式真空ポンプ

容積移送式真空ポンプは、気体を空間ごと移動させる形式の真空ポンプです。
イメージとしては、中身に関係なく箱ごと持っていく運送トラックです。

運動量輸送式真空ポンプ

運動量輸送式真空ポンプは、気体分子に運動量を与えて排気を行う形式の真空ポンプです。
イメージとしては、ゴルフボール代わりの分子を打ち出して外に追い出す感じです。

どっちが良い真空ポンプ?

求めている性能・コストパフォーマンス・整備のしやすさなど、状況によって良い製品は変化するため、一概に良い製品を決めることはできません。
2種類の真空ポンプの性能を大まかに比較したとき、特徴は次のようになります。

容積移送式運動量輸送式
可動部品多い少ない
到達真空度低い高い
補助ポンプ不要必要
需要多い少ない

特徴はあくまでも、強引に2種類の分類を行った場合の傾向です。可動部品の多い運動量輸送式ポンプもありますし、需要の低い容積移動式ポンプもあります。

参考

真空ポンプの種類|真空ポンプの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

真空の基礎知識

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