真空ポンプの選定
真空ポンプは利用目的や使用環境によって、必要な性能が異なります。
株式会社アルバック様では、真空ポンプの選定に必要な11項目の情報をリスト化しています。
真空ポンプを新しく購入する際には、リストを意識しながら選ぶと、迷いなく選ぶことができるでしょう。
選定に必要な情報
1.利用目的
利用目的は、大きく2つに分けることができます。
- チャンバーを指定の圧力まで排気したい。
- チャンバーに指定のガスを給気したい。
排気より給気のほうが、不純物に気を配る必要があるため、求められる性能が高いです。
2.排気するガスの種類と成分
排気に空気しかない場合と水蒸気が多量に含まれる場合で、必要な性能が変わります。
また、特定のガスの給気を行うときに、使うことのできない真空ポンプもあります。
3.目標圧力
真空ポンプには様々な形式があり、それらは最高到達真空度が異なります。
最高到達真空度が高い製品ほど、価格が上昇する傾向にあります。
4.必要な排気速度
基本的に、排気速度を早くすればするほど、必要なポンプの性能が高くなり、維持・管理のコストも増える傾向があります。
加えて、排気速度が早ければ早いほど良いというわけではなく、早すぎる排気はチャンバー内のものを、大きく変形・変質させる可能性があります。
しかし、排気速度が早いほど作業時間が短縮されるため、適切なラインの見極めが重要です。
5.チャンバのサイズ、配管の長さ、真空弁のサイズ
変換継手を使うことで異なるサイズの配管とつなぐことは可能です。
しかし、製品の選定の段階で接続径が適合する製品を選んで、可能な限り中間部品を減らすことが望ましいです。
6.使用可能な電圧及び周波数
日本国内なら、単相もしくは三相、100Vもしくは200Vになるかと思います。
7.必要な認証規格
日本で代表的な認証といえば、JIS認証やPSE認証でしょうか。
8.製品を使用する国・仕向地
税関を通過するために必要な認証が、国によって異なることがあります。
国によっては、日本から持ち込んで使うことのできない部品もあります。
9.製品の使用環境
メンテナンスが困難な場所に設置する場合、多少高価でも、メンテナンスの手間が少なくなる製品を選ぶ必要があるでしょう。
10.数量
少数の場合、在庫分のみで対応できる場合があり、納期が早くなる可能性が少しだけあります。
11.予算
一般人にとってはお金は無限じゃないです。大事です。しかし、必要な性能を確保することのほうが重要なので、優先度は低めです。
