真空を作るために必要なもの
必要な製品
次の3つが、真空を作るために必要です。
- 真空チャンバー（真空容器）
- 真空ポンプ
- 真空弁
上の3つに加えて、準備したほうが良い製品が次のリストです。
- コールドトラップ
- ダストフィルター
- オイルミストトラップ
それぞれの製品の役割
必須の製品
真空チャンバー
真空チャンバーとは、真空の環境を作る容器のことです。容器の中が真空になり、真空装置の要となる重要な製品です。
真空をつくるための気密性と大気圧に耐えれる丈夫さが必要です。
分野によっては、チャンバー本体の熱伝導性、外側から内部を覗くことができるような利便性なども必要になるため、分野・用途に向けた様々なチャンバーが販売されています。
真空ポンプ
真空ポンプで、真空チャンバーの内部の気体を外部に送り出します。
必要な真空度、排気する気体の種類、排気速度などで、必要なポンプの性能が異なります。
ポンプによっては真空でしか動作しない真空ポンプもあり、補助ポンプ＋メインポンプが必要になります。
真空弁
真空装置では、チャンバーにバルブを取り付けることで、大気とチャンバーの空間の遮断・開放をしたり、流れる方向を制御します。
チャンバーに最も近い部品かつ可動部品が多いので、漏れの原因になりやすいです。真空度や用途によって、適切な弁を選定する必要があります。
あったほうが良い製品
コールドトラップ
真空チャンバー内で蒸発した水分が真空ポンプに流れると、真空ポンプの性能低下を発生させます。水分による真空ポンプの性能低下を防ぐために、チャンバーと真空ポンプの間にコールドトラップを使う場合があります。
ダストフィルター
真空チャンバー内に浮遊している細かな塵が真空ポンプに流れると、真空ポンプの性能低下を発生させるだけでなく、故障の原因にもなります。塵から真空ポンプを保護するために、チャンバーと真空ポンプの間にダストフィルターを使う場合があります。
フィルターには紙、プラ、金属などいくつか種類があります。
オイルミストトラップ
オイルミストトラップは、真空ポンプで使う油を排気から除去するための製品です。油を使う真空ポンプでは、排気に蒸発した油が混入するため、直接排気すると研究室内や環境を汚染するため、オイルミストトラップが必要となります。
小型のものや除去率の高い製品が選ばれる傾向にあります。
