代表的な真空計の分類

真空計とは、私たちが生活している環境の圧力より、低い圧力を測定する測定器のことです。
真空計には、様々な測定方式があります。
代表的な真空計を見てみましょう。

真空計の種類の一覧

全圧真空計

全圧真空計は、真空容器内に含まれる分子を対象とします。
圧力を測定したい場合は、こちらの真空計を使います。

機械的現象

機械的現象を測定する真空計とは、気体が面を押す力や、バネの伸び縮みなどの、機械的な動作によって圧力を測定する真空計のことです。
圧力を測定したい気体の種類と無関係に測定することができるため、絶対真空計と呼ばれることもあります。

気体の輸送現象

気体の輸送現象を測定する真空計とは、気体の流れる速度や、気体が熱を伝える効果などの、気体に着目した真空計のことです。

気体中の電離現象

気体に高エネルギーの電子を衝突させると、気体が電離してイオンになります。
イオンがどれだけ生成されたかを計測して、気体の量を測ります。

分圧真空計

分圧真空計は、真空容器内に含まれる気体と種類の組成を対象とします。
成分を分析したい場合は、こちらの真空計を使います。

電界と磁界を利用

磁場と静電場を組み合わせたものです。m/zで異なるイオンエネルギーの違いを静電場により補正します。

電界と飛行時間を利用

イオンに一定電圧を与えて加速させ、飛行時間を測定することでイオンを検出する型です。電場や磁場を使わないため、分離の基礎理論は単純です。

参考

真空計の種類と大気圧について｜真空計の基礎知識｜HOW TO｜ULVAC SHOWCASE
質量分析とは？質量分析計の原理を理解 (cloud-for-all.com)